特色产品(Feature Products)

NANO-38 热蒸镀系统

我们的新型NANO 38是一款小型的、经济型的热蒸镀系统。它能方便有效地实现连续蒸镀的沉积工艺。它的简单封闭式设计理念正是来源于我们备受用戶欢迎的PVD-75系统。同时，它还配备了一套整合式的触摸屏幕控制系统。

薄膜沉积技术

• 热蒸镀(采用连续蒸镀工艺时，独立的蒸发源最多可达三个)

特色

• D型304不锈钢制真空室，18" 高 x 12" 深
  (D型真空室是圆柱型及盒型真空室的组合设计)
• 铝制门及方型观察窗
• 标准配备3个独立的蒸镀材料容器及2KW电源
• 固定的基片安放装置(平台)
• 涡轮分子泵
• 整合式的触摸屏幕控制器及膜厚监视仪
• 完全封闭式设计，可不占用无尘室洁净空间

可选配备

• 膜厚控制仪
• 电机驱动式基片旋转装置
• 气动式蒸镀挡板