流体穿通密封件(气体,液体及低温流体)是用来传送液体或气体到真空腔室内的设备,目的通常是为了散热冷却,或提供动力给气动或液压驱动的装置。
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气体及液体穿通密封件密封件(Gas & Liquid Feedthroughs) 气液穿通密封件可配有一个或多个不同口径的管子。管路末端连接可以选用普通管端或Swagelok专用接头(如Swagelok, VCR, and VCO)。安装方式可以选用真空法兰(CF 或 KF)或底板密封(Baseplate)安装。
低温流体穿通密封件(Cryogenic Feedthroughs) 低温流体穿通密封件跟普通的气液穿通密封件很相似,唯一的区别在于低温穿通密封件的传输管及安装法兰之间有一段较长的热传导路径,这种结构可以大大降低热量的传输,给低温液体达到良好的保温效果。
低温穿通密封件可配有一个或多个不同口径的管子。管路末端连接可以选用普通管端或Swagelok专用接头(如Swagelok, VCR, and VCO)。安装方式可以选用真空法兰(CF 或 KF)或底板密封(Baseplate)安装。