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传动式穿通密封件(Motion Feedthroughs)

传动式穿通密封件是一种精密的操作装置,可用来移动或定位真空室内的物体。


MagiDrive旋转传动式穿通密封件(MagiDrive Rotary Motion Drives )

MagiDrive 运用强力的磁场,透过坚固的不锈钢外壁,使真空内部及外部的旋转部件形成可靠的磁力互锁,使之具有较大的抗扭刚性。MagiDrive内部因为没有任何波纹管、流体及动态密封件,所以可以实现真正意义上的完全密封。

MagiDrive 是非常适合于UHV应用,我们有十种不同的规格尺寸,可以满足不同的扭矩应用。

其中有一种型号采用独特的中空轴设计,其设计可使多个MagiDrive套接在一起,从而实现三个独立的旋转轴传动。多款手动或气动驱动模式、轴尺寸及轴承可供选择。

MagiDrive


磁流体密封式旋转传动穿通密封件
(Ferrofluid Rotary Motion Drives )

磁流体具有极佳的密封效果,适合于HV及UHV等应用。

磁流体式穿通密封件在动力部份使用一种特殊的磁性流体代替O型密封圈。该磁流体在内部永磁铁的磁场作用下将形成液态的O型密封圈,并能保持形状而不流动。

这种穿通密封件主要应用于真空工艺中具有旋转传动的平台、桶、盘、行星齿轮机构及细网镀膜用的滚筒等。

Ferrofluid


直线传动定位器(Linear Motion Positioners)

我们制造多种规格的直线传动定位器,可供UHV(超高真空)使用。

这些直线定位器适合于那些直线的,固定距离移动的应用,例如束流遮挡、观察窗挡板驱动器及样品基板的移动。

我们所提供的定位器,其操作方式既可以是推挽式,也可以是螺杆传动式;其动态密封方式既可以是焊接波纹管密封,也可以是磁力耦合式完全密封。

根据不同型号的直线定位器,最大传送范围可从25mm到205mm。大部份型号都可配备电动或气动驱动装置。

LinearPositioner


直线移动器
(Linear Shifts)

直线移动器是一个连接在上下两个法兰之间的机械装置,它是一个中空的UHV焊接波纹管;上法兰利用波纹管的伸缩性,可沿Z轴方向(Z轴为跟法兰端面法线平行的轴)靠近或离开下法兰,以实现真空部件的直线移动。

这些直线移动器通常应用于那些无需倾斜及摇摆传动而只需直线传动的大型法兰安装式仪器装置;并且该移动器能承受因真空室抽气所产生的压力差变化,而保持调准的位置不变。根据不同型号,这些移动器的最大直线移动距离可从25mm到150mm。

移动器的驱动方式可选转轮手动或电机驱动(步进电机或直流电机可供选择)。

我们提供许多类型的传动式穿通密封件及样品操控装置,包括:

LinearShifts
SampleTransfer PortAligner
MultiStageXYZ
直线传动式样品传送器
PowerProbe系列的
直线及旋转传动式样品传送器
法兰端口定位器
XYZ三轴操控器


科特‧莱思科公司 传真: 86-21-62181267 china@lesker.com