光学穿通密封件(Optical Feedthroughs)

光学穿通密封件(俗称观察窗，Viewports)是安装在真空腔壁上的特定的玻璃窗口，其用途包括：可让操作员观察真空室内的操作过程；透过特定波长的光束进行物理或化学反应；测量在工艺中放射出来的光波或其他电磁波；或监控某特定波长的光学效应(椭圆偏光测量术)等。我们可提供各种光学玻璃的观察窗及法兰安装方式，以满足HV及UHV的应用。

光学材料可选Kodial玻璃、石英、蓝宝石、特殊玻璃材料(例如硒化锌，氟化镁等)及有光学镀层的7980高纯熔融石英（专用于传输激光）。

我们也提供齐全的观察窗挡板、驱动器及其他配件，来保护窗口玻璃不受沉积工艺的污染。