工艺设备简介(Process Equipment)

我们提供全套的薄膜沉积技术解決方案。从磁控管溅镀源、蒸镀源，到相应的各式电源、气体品质流量计及膜厚监控器等。

我们生产及配送种类齐全的薄膜沉积技术设备产品，包括:

• TORUS磁控管溅镀源 (圆形及条形源)
• 热蒸镀及电子束蒸镀源
• 电源(AC, RF, DC及脉冲DC)
• MKS质量流量计及控制器
• Inficon 薄膜厚度监控器及控制器
• 客戶订制真空室及组件