MKS 质量流量仪器 (MKS Mass Flow Equipment)
为满足您特殊的应用需求，我们提供业界著名的MKS公司所生产的质量流量仪器的整套产品。质量流量控制器是以单位时间内压力体积的流量方式来控制气体质量流量的测量仪器 。另外，我们也提供永久性气体或蒸汽所使用的质量流量控制器。
针对一般的分析需求及工业性应用，我们可提供经济型的弹性橡胶密封型仪器(例如：MKS 1179A)；对于超高纯要求的或腐蚀性的半导体应用，我们则可提供金属密封型仪器(例如：MMKS 1479A)。
为满足您加工处理的需求，您可以选择各种流量范围(10到30,000sccm)、接头类型及通讯接口。
另外，我们也提供齐全的MKS配件，包括：电缆、电源及定点控制显示器。 |
