我们可为客戶订制,从小型研发应用所需的简单单室钟罩系统,到OLED/PLED规模生产所用的复杂的多室电脑控制集群工艺系统,以及介于其间的应用设备。
我们的系统使用了多种沉积技术,包括: 条形及圆形结构的磁控溅镀技术(可配置RF, DC, 或脉冲DC电源) 、用于基板清洗及沉积辅助的离子源技术、电子束蒸镀技术、金属及有机物质的热蒸镀技术,及脉冲激光蒸镀技术等等。
不论您的工艺过程需要高真空(HV)或超高真空(UHV) 技术, 或GMR、OLED/PLED R & D 和设备制造系统,还是工业涂层技术及空间模拟系统,我们的设备生产加工部门都能满足您的需求。 |