特色產品(Feature Products)

NANO-38 熱蒸鍍系統

我們的新型NANO 38是一款小型的、經濟型的熱蒸鍍系統。它能方便有效地實現連續蒸鍍的沉積應用。它的簡單封閉式設計理念正是來源於我們備受用戶歡迎的PVD-75系統。同時，它還配備了一套整合式的觸摸螢幕控制系統。

薄膜沉積技術

• 熱蒸鍍(採用連續蒸鍍處理時，獨立的蒸發源最多可達三個)

特色

• D型304不銹鋼製真空室，18" 高 x 12" 深
  (D型真空室是圓柱型及盒型真空室的組合設計)
• 鋁製門及方型觀察窗
• 標準配備3個獨立的蒸鍍材料容器及2KW電源
• 固定的基片安放裝置(平台)
• 渦輪分子幫浦
• 整合式的觸摸螢幕控制系統及膜厚監視儀
• 完全封閉式設計，可以不佔用無塵室空間

可選配置

• 膜厚控制儀
• 電機驅動式基片旋轉裝置
• 氣動式蒸鍍擋板