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傳動式穿通密封件(Motion Feedthroughs)

傳動式穿通密封件是一種精密的操作裝置,可用來移動或定位真空室内的物體。


MagiDrive旋轉傳動式穿通密封件(MagiDrive Rotary Motion Drives )

MagiDrive 運用强力的磁場,透過堅固的不銹鋼外壁,使真空内部及外部的旋轉部件形成可靠的磁力互鎖,使之具有較大的抗扭剛性。MagiDrive内部因為没有任何波纹管、流體及動態密封件,所以可以實現真正意義上的完全密封。

MagiDrive是非常適合於UHV應用,我們有十種不同的規格尺寸,可以滿足不同的扭矩應用。

其中有一種型號採用獨特的中空軸設計,其設計可使多個MagiDrive套接在一起,從而實現三個獨立的旋轉軸運動。多款手動或氣動驅動模式、軸尺寸及軸承可供选择。

MagiDrive


磁流體密封式旋轉傳動穿通密封件
(Ferrofluid Rotary Motion Drives )

磁流體具有極佳的密封效果,適合於HV及UHV等應用。

磁流體式穿通密封件在動力部份使用一種特殊的磁性流體代替O型密封圈。該磁流體在内部永磁鐵的磁場作用下將形成液態的O型密封圈,並能保持形狀而不流動。

這種穿通密封件主要應用於真空製程中的具有旋轉運動的平台、桶、盤、行星齒輸機構及細網鍍膜用的滚筒等。

Ferrofluid


線性傳動定位器(Linear Motion Positioners)

我們製造多種規格的直線傳動定位器,可供UHV(超高真空)使用。

這些直線定位器適合於那些直線的,固定距離移動的應用,例如束流遮擋、觀察窗擋板驅動器及樣品基板的移動。

我們所提供的定位器,其操作方式既可以是推挽式,也可以是螺杆傳動式;其動態密封方式既可以是焊接波紋管密封,也可以是磁力耦合式完全密封。

根據不同型號的直線定位器,最大傳送範圍可從25mm到205mm。大部份型號都可配備電動或氣動驅動裝置。

LinearPositioner


直線移動器(Linear Shifts)

直線移動器是一個連接在上下兩個法蘭之間的機械裝置,它是一個中空設計的UHV焊接波紋管;上法蘭利用波紋管的伸缩性,可沿Z軸方向(Z軸為跟法蘭端面法線平行的軸)靠近或離開下法蘭,以實現真空部件的直線移動。

這些直線移動器通常應用於那些無需倾斜及搖擺運動而只需直線運動的大型法蘭安裝式儀器裝置;並且該移動器能承受因真空室抽氣所產生的壓力差變化,而保持調準的位置不變。根據不同型號,這些移動器的最大直線移動距離可從25mm到150mm。

移動器的驅動方式可選轉輪手動或電機驅動(步進電機或直流電機可供選擇)。

我們提供許多類型的傳動式穿通密封件及樣品操控裝置,包括:

LinearShifts
SampleTransfer PortAligner
MultiStageXYZ
直線傳動式樣品傳送器
PowerProbe 系列的
直線及旋轉傳動式樣品傳送器
法蘭端口定位器
XYZ 三軸操控器


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