處理設備簡介(Process Equipment)

我們提供全套的薄膜沉積技術解決方案。從磁控管濺鍍源、蒸鍍源，到相應的各式電源、氣體品質流量計及膜厚監控器等等。

我們生產及配送種類齊全的沉積技術設備產品，包括:

• TORUS磁控管濺鍍源 (圓形及條形源)
• 熱蒸鍍及電子束蒸鍍源
• 電源(AC, RF, DC及脈衝DC)
• MKS質量流量計及控制器
• Inficon 薄膜厚度監控器及控制器
• 客製化真空室及組件